Введение
Специальная газовая система - это точная среда для управления газами, обеспечивающая важную поддержку производства полупроводников и научных исследований благодаря строгой логике и точному контролю. В этой системе блоки данных действуют как "языковые коды", связывая различные компоненты для обеспечения точной передачи информации. Сегодня мы расскажем вам о ключевых блоках данных в специальной газовой системе.
Устройства для измерения давления: Ключевой фактор в управлении потоком газа
Давление - это ключевой параметр в специальной газовой системе, отвечающий за управление потоком газа в трубопроводе, обеспечение его поступления к целевому оборудованию с соответствующим расходом и соблюдение технологических требований к стабильности и точности давления. Понимание и использование различных единиц измерения давления является основополагающим фактором для эффективного управления специальными газовыми системами. Далее мы дадим подробное объяснение нескольких часто используемых единиц давления:
– МПа (Мегапаскаль): Стандарт давления в Международной системе единиц, 1 МПа эквивалентен силе в 1 000 000 Ньютонов на квадратный метр. В специальной газовой системе МПа обычно используется для описания значений давления в ключевых точках, таких как магистральный газопровод, внутри резервуара для хранения и на выходе редукционного клапана. Благодаря умеренному значению и простоте интеграции с международными стандартами, МПа стал предпочтительной единицей измерения давления на многих современных промышленных объектах, особенно в области производства полупроводников и нефтехимии.
– PSI (Фунты на квадратный дюйм): Имперская единица, представляющая собой фунт силы на квадратный дюйм, обычно встречающаяся в американском оборудовании. Она играет важную роль в некоторых видах импортного оборудования в специальных газовых системах.
– Бар: Происходит от греческого слова "барос", означающего "вес". Он определяется как 1 бар, равный 100 000 паскалей (Па). Он широко используется в Европе, где 1 бар равен приблизительно 0,1 МПа или 14,50377 фунтов на квадратный дюйм. В специальной газовой системе бар служит промежуточной единицей между МПа и psi. Он облегчает связь с Международной системой единиц и взаимодействие с некоторым оборудованием, в котором до сих пор используются традиционные единицы. Эта относительно небольшая величина легко вычисляется и быстро оценивается, что делает бар очень практичным в реальных операциях.
– атм (стандартное атмосферное давление): Используется для сравнения атмосферного давления; 1 атм ≈ 0,101325 МПа или 14,696 фунтов на квадратный дюйм. В специальных газовых системах атм часто используется в качестве эталонной единицы для выражения абсолютного или относительного давления. Это особенно актуально в таких сценариях, как анализ чистоты газа и обнаружение утечек газа, где применяется концепция "разности давлений относительно атмосферного давления", что делает атм незаменимым эталоном.
– kPa (килопаскаль): Это меньшая единица измерения давления; 1 МПа = 1 000 кПа. В специализированных газовых системах кПа часто используется для обозначения местного регулирования давления, обнаружения микроутечек газа и других ситуаций, требующих более высокой точности измерений, или для представления небольших колебаний изменения давления в отчетах и графиках. Поскольку преобразование между кПа и МПа является простым и интуитивно понятным, оно обеспечивает гибкий вариант выражения данных о давлении, помогая добиться четкого и дехвостовые описания в различных диапазонах давления.
Единицы расхода: Стандарт для измерения подачи газа
Точное измерение расхода газа имеет решающее значение для скорости и общего количества подаваемого газа в специальных газовых системах, влияя на эффективность процесса, использование материалов и качество конечного продукта. Различные расходомеры подходят для различных сценариев применения и требований к точности в специальных газовых системах. В таких системах обычно используются следующие единицы измерения расхода:
– SLM: Стандартные литры в минуту, при 20°C и 1 атмосфере.
– SCCM: Стандартные кубические сантиметры в минуту, в том числе при определенных стандартных условиях.
– Нм³/ч: Стандартный расход в кубических метрах для сыпучих газов при 0°C и 1 атмосфере.
– л/мин: Непосредственно указывает на объемный расход, который должен быть понял в сочетании с реальными условиями эксплуатации.
Концентрационные установки: Обеспечение качества и безопасности газа. 
Контроль чистоты газовых систем крайне важен, особенно в таких областях, как производство полупроводников и научно-исследовательские эксперименты, где существуют строгие требования к качеству газа. Обеспечение чистоты газа может гарантировать производительность процесса, качество продукции, безопасность оператора и предотвратить загрязнение окружающей среды. Ниже приведены несколько единиц концентрации, используемых для контроля чистоты:
– ppm: Части на миллион, представляет собой концентрацию определенного компонента в газовой смеси. В специальных газовых системах ppm часто используется для описания содержания определенного компонента примеси в газовой смеси. Например, чистота высокочистого азота обозначается как "5 ppm O₂", что означает, что в каждом миллионе частей азота содержится 5 частей кислорода. PPM подходит для ситуаций с чрезвычайно высокими требованиями к чистоте газа, например, для процессов окисления и диффузии при производстве полупроводниковых приборов. Любое незначительное содержание примесей может повлиять на работу устройства.
– ppb: Части на миллиард, используется для обнаружения и контроля следовых газов. В случаях с чрезвычайно жесткими требованиями к чистоте газа, таких как производство сверхкрупных интегральных схем и синтез современных материалов, контроль чистоты на уровне ppb имеет решающее значение. Например, чистота аргона сверхвысокой чистоты должна достигать "1 ppb H₂O", что означает, что в каждом миллиарде частей аргона допускается только 1 часть воды. Контроль чистоты на уровне ppb требует наличия специальных газовых систем с чрезвычайно высокой степенью очистки и точных методов обнаружения.
– %VOL: Объемный процент напрямую указывает на объемный процент газа в смеси. По сравнению с ppm и ppb, %VOL больше подходит для описания газовых смесей с более высокой концентрацией.
В специализированных газовых системах %VOL часто используется для обозначения пропорций компонентов технологических газов, таких как смешанный газ, используемый в химическом осаждении из паровой фазы (CVD), который может включать водород (H₂), силан (SiH₄), аммиак (NH₃) и т.д., каждый из которых выражен в объемных процентах. Кроме того, %VOL часто используется для описания доли газов-разбавителей (таких как азот) в смешанных газах.
Температурные приборы: Термометры для контроля технологической среды
Температура напрямую влияет на стабильную работу специальной газовой системы и свойства газа. Основными единицами измерения являются следующие:
– ℃ (Градусы Цельсия): Цельсий - международно принятая единица измерения температуры.
– °F (Градусы Фаренгейта): Фаренгейт, в основном используется в США и регионах, исторически подверженных его влиянию.
Другие основные единицы измерения: Время, масса и длина
– Единицы времени: s (секунды), min (минуты), h (часы), используется для записи времени работы системы, расхода газа и т.д.
– Единицы измерения массы: g (граммы), kg (килограммы), используемые для описания массы или веса газа.
– Единицы длины: mm (миллиметры), cm (сантиметры), m (метры), используются для размерных параметров, таких как размер трубопровода и расстояние.
Заключение
Овладение этими базовыми единицами - это как набор инструментов для управления газовой системой. Единицы данных в специализированной газовой системе - это основа ее работы. Понимая и применяя эти единицы, инженеры могут точно контролировать параметры газа для обеспечения эффективности, стабильности и безопасности системы.
Если у вас возникли вопросы, пожалуйста связаться с нами напрямую, и мы свяжемся с вами в ближайшее время.