Inleiding
Het speciale gassysteem is een nauwkeurige omgeving voor het regelen van gassen en biedt belangrijke ondersteuning voor de productie van halfgeleiders en wetenschappelijk onderzoek door middel van strenge logica en nauwkeurige regeling. In dit systeem fungeren data-eenheden als "taalcodes" die verschillende componenten met elkaar verbinden om een nauwkeurige informatieoverdracht te garanderen. Vandaag onthullen we de belangrijkste data-eenheden in het speciale gassysteem om u te helpen.
Drukeenheden: De sleutelfactor bij het regelen van de gasstroom
Druk is een belangrijke parameter in het speciale gassysteem, die verantwoordelijk is voor het regelen van de gasstroom in de pijpleiding, die ervoor zorgt dat het gas de doelapparatuur met de juiste stroomsnelheid bereikt en die voldoet aan de procesvereisten voor drukstabiliteit en nauwkeurigheid. Het begrijpen en gebruiken van verschillende drukeenheden is van fundamenteel belang voor het effectieve beheer van speciale gassystemen. Hierna geven we een gedetailleerde uitleg van verschillende veelgebruikte drukeenheden:
– MPa (Megapascal): De drukstandaard in het Internationaal Stelsel van Eenheden. 1 MPa komt overeen met een kracht van 1.000.000 Newton per vierkante meter. In het speciale gassysteem wordt MPa vaak gebruikt om de drukwaarden op belangrijke punten te beschrijven, zoals de hoofdgasleiding, binnenin de opslagtank en de uitlaat van de reduceerventiel. Vanwege de gematigde waarde en het gemak van integratie met internationale normen is MPa de drukeenheid bij uitstek geworden in veel moderne industriële faciliteiten, vooral op het gebied van halfgeleiderfabricage en petrochemie.
– PSI (Pounds per Square Inch): Een imperiale eenheid die staat voor pounds kracht per vierkante inch en die vaak wordt aangetroffen in Amerikaanse apparatuur. Deze eenheid speelt een belangrijke rol in bepaalde geïmporteerde apparatuur in speciale gassystemen.
– Bar: Afgeleid van het Griekse woord 'baros', dat 'gewicht' betekent. De definitie is dat 1 bar gelijk is aan 100.000 pascal (Pa). Het wordt vaak gebruikt in Europa, waar 1 bar ongeveer 0,1 MPa of 14,50377 psi is. In het speciale gassysteem dient bar als tusseneenheid tussen MPa en psi. Het vergemakkelijkt de aansluiting op het Internationaal Stelsel van Eenheden en interfaces met sommige apparatuur die nog traditionele eenheden gebruikt. Deze relatief kleine waarde is eenvoudig te berekenen en snel in te schatten, waardoor bar zeer praktisch is in de praktijk.
– atm (standaard atmosferische druk): Wordt gebruikt om de atmosferische druk te vergelijken; 1 atm ≈ 0,101325 MPa of 14,696 psi. In speciale gassystemen wordt atm vaak gebruikt als referentie-eenheid om absolute of relatieve druk uit te drukken. Dit is vooral waar in scenario's zoals gaszuiverheidsanalyse en gaslekdetectie, waar het concept van "drukverschil ten opzichte van atmosferische druk" wordt toegepast, waardoor atm een onmisbare referentie is.
– kPa (kilopascal): Dit is een kleinere eenheid van druk; 1 MPa = 1.000 kPa. In speciale gassystemen wordt kPa vaak gebruikt om lokale drukregeling, detectie van gaslekken en andere situaties aan te geven die preciezere metingen vereisen, of om kleine fluctuaties in drukveranderingen weer te geven in rapporten en grafieken. Aangezien de conversie tussen kPa en MPa eenvoudig en intuïtief is, biedt het een flexibele optie voor het uitdrukken van drukgegevens, wat helpt bij het bereiken van duidelijke en debeschrijvingen over verschillende drukbereiken.
Stromingseenheden: Een standaard voor het meten van gastoevoer
Nauwkeurige meting van de gasstroom is essentieel voor de snelheid en totale hoeveelheid gastoevoer in speciale gassystemen en beïnvloedt de procesefficiëntie, het materiaalgebruik en de kwaliteit van het eindproduct. Verschillende stroomeenheden zijn geschikt voor verschillende toepassingsscenario's en nauwkeurigheidseisen binnen speciale gassystemen. De volgende stromingseenheden worden vaak gebruikt in deze systemen:
– SLM: Standaard liter per minuut, bij 20°C en 1 atmosfeer.
– SCCM: Standaard kubieke centimeter per minuut, ook bij specifieke standaardomstandigheden.
– Nm³/h: Standaard kubieke meter flow, voor bulkgassen, bij 0°C en 1 atmosfeer.
– L/min: Geeft direct de volumestroom aan, die moet worden begrepen in combinatie met de werkelijke bedrijfsomstandigheden.
Concentratie-eenheden: Zorgen voor gaskwaliteit en veiligheid. 
De zuiverheidscontrole van gassystemen is van cruciaal belang, vooral in gebieden zoals de productie van halfgeleiders en wetenschappelijke onderzoeksexperimenten waar strenge eisen gelden voor de gaskwaliteit. Door de zuiverheid van het gas te garanderen, kunnen de procesprestaties, de productkwaliteit en de veiligheid van de operator worden gegarandeerd en kan milieuvervuiling worden voorkomen. Hieronder staan verschillende concentratie-eenheden die worden gebruikt voor zuiverheidscontrole:
– ppm: Parts per million, staat voor de concentratie van een bepaalde component in een gasmengsel. In speciale gassystemen wordt ppm vaak gebruikt om het gehalte van een bepaalde onzuiverheidscomponent in een gasmengsel te beschrijven. De zuiverheid van hoogzuivere stikstof wordt bijvoorbeeld aangeduid als "5 ppm O₂", wat betekent dat er 5 delen zuurstof in elke miljoen delen stikstof zitten. PPM is geschikt voor situaties waarin extreem hoge eisen worden gesteld aan de zuiverheid van gas, zoals oxidatie- en diffusieprocessen bij de productie van halfgeleiderapparaten. Elke kleine onzuiverheid kan de prestaties van het apparaat beïnvloeden.
– ppb: Parts per billion, wordt gebruikt voor detectie en controle van spoorgassen. In gelegenheden waar extreem strenge eisen worden gesteld aan de zuiverheid van gassen, zoals bij de productie van zeer grote geïntegreerde circuits en geavanceerde materiaalsynthese, is zuiverheidscontrole op ppb-niveau van cruciaal belang. De zuiverheid van ultrazuiver argon kan bijvoorbeeld worden vereist om "1 ppb H₂O" te bereiken, wat betekent dat slechts 1 deel water is toegestaan in elk miljard delen argon. Zuiverheidscontrole op ppb-niveau vereist speciale gassystemen met extreem hoge zuiveringscapaciteiten en nauwkeurige detectiemethoden.
– %VOL: Volumepercentage geeft direct het volumepercentage van een gas in een mengsel aan. Vergeleken met ppm en ppb is %VOL geschikter voor het beschrijven van gasmengsels met hogere concentraties.
In speciale gassystemen wordt %VOL vaak gebruikt om de verhoudingen aan te geven van de componenten van procesgassen, zoals het gemengde gas dat gebruikt wordt bij chemische dampdepositie (CVD), dat waterstof (H₂), silaan (SiH₄), ammoniak (NH₃), enz. kan bevatten, elk uitgedrukt in volumepercentage. Daarnaast wordt %VOL vaak gebruikt om het aandeel verdunningsgassen (zoals stikstof) in gemengde gassen te beschrijven.
Temperatuureenheden: Thermometers voor het regelen van de procesomgeving
De temperatuur heeft een directe invloed op de stabiele werking van het speciale gassysteem en de eigenschappen van het gas. De belangrijkste eenheden zijn als volgt:
– ℃ (Graden Celsius): Celsius, een internationaal geaccepteerde temperatuureenheid.
– °F (Graden Fahrenheit): Fahrenheit, voornamelijk gebruikt in de Verenigde Staten en gebieden die daar historisch door beïnvloed zijn.
Andere essentiële eenheden: Tijd, massa en lengte
– Tijdseenhedens (seconden), min (minuten), h (uren), gebruikt om de werkingstijd van het systeem, het gasverbruik enz. te registreren.
– Massa-eenhedeng (gram), kg (kilogram), gebruikt om de massa of het gewicht van het gas te beschrijven.
– Lengte-eenhedenmm (millimeters), cm (centimeters), m (meters), gebruikt voor dimensionale parameters zoals de grootte en afstand van pijpleidingen.
Conclusie
Het beheersen van deze basiseenheden is als het hebben van een gereedschapskist die het beheer van het speciale gassysteem ondersteunt. De data-eenheden in het speciale gassysteem vormen de basis van de werking ervan. Door deze eenheden te begrijpen en toe te passen, kunnen technici de gasparameters nauwkeurig regelen om de efficiëntie, stabiliteit en veiligheid van het systeem te garanderen.
Als u vragen hebt, kunt u contact met ons opnemen en we zullen je snel bereiken.